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一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

設立昭和59年8月1日(1984年)
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
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最終更新日:2025/05/26
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【分析事例】窒化ガリウムにおける欠陥準位の解析

点欠陥の形成エネルギー、電荷、光学遷移など!様々な物性情報が得られます

弊団では、第一原理計算によるワイドギャップ半導体 窒化ガリウム(GaN) における欠陥準位の解析を行っております。 ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は主にパワーデバイスの 分野で用いられ、近年では急速充電器や5G通信基地局用途としての需要が 高まっています。 ここでは第一原理計算を用いてGaN中の窒素欠損(VN)が形成する 欠陥準位の解析を行った事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[PL]フォトルミネッセンス法 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】耐候性試験による製品劣化調査

サンシャインウェザーメーターを使用した劣化状態の再現が可能!

弊団では、耐候性試験による製品劣化調査を承っております。 サンシャインウェザーメーターは太陽光・温度・湿度などを人工的に 再現することができ、自転車用ライトについて耐候性試験規格を行い、 経時変化を調べました。 元々は黒色であるライトが変色していく様子について、定量的な議論を行う ために(JIS D 0205)を参照し色差及び光沢度の評価を行った事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■その他 ■耐候性試験 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】銅フタロシアニンのラマンスペクトル帰属

実測とシミュレーションの組み合わせにより、詳細なピーク帰属が可能です!

弊団では、量子化学計算による銅フタロシアニンのラマンスペクトル帰属 を行っております。 実測と量子化学計算によるシミュレーション結果との比較から スペクトル帰属を行うことで、振動モードの解析が可能です。 ここでは有機薄膜トランジスタ等への活用も期待される「銅フタロシアニン」 の解析事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[Raman]ラマン分光法 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】脂質のイメージング

マウス精巣中脂質のイメージング!TOF-SIMSとMALDI-MSで測定した事例を紹介

弊団では、脂質のイメージングを行っております。 TOF-SIMSでは低質量成分を得意とし、高い面分解能でイメージングが可能です。 一方、MALDI-MSでは高質量成分を得意とし、イメージングが可能な脂質の 種類が豊富です。 ここではマウス精巣中における脂質のイメージング質量分析の結果を例に、 TOF-SIMSとMALDI-MSで測定した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 ■[MALDI-MS]マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価

ラメラ等の構造解析が可能!WAXS(X線広角散乱法)でも同様の評価ができる

弊団では、X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価を 行っております。 両親媒性物質が造り出す高次構造の違いにより皮膚組織に対する保湿性や 浸透性が変化することが知られており、これらの構造を把握することは 材料の機能性を評価する上で重要となります。 ~数nmの構造にはXRD(X線回折法)を、~数十nmの構造にはSAXS(X線小角散乱法)を 用いて、高分子の階層構造を評価した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[XRD]X線回折法 ■[SAXS]X線小角散乱法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】量子化学計算による酸解離定数(pKa)の算出

溶媒、官能基ごとに作成した検量線からpKa未知の化合物に対する予測が可能!

弊団では、量子化学計算による酸解離定数(pKa)の算出を行っております。 酸解離定数(pKa)は酸の強さ(プロトンの解離しやすさ)を定量的に表した 指標の一つです。pKaが分かることで、pHに対する化合物の溶解性やその状態、 医薬品の生体内での吸収されやすさ、pH緩衝作用などの推測に役立ちます。 量子化学計算により得られる酸解離エネルギー差とpKa実験値を用いて、 溶媒、官能基ごとに検量線を作成し、分子内水素結合がpKaに与える影響を 調べた事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】分子動力学計算による脂質二重膜への分子透過性評価

自由エネルギー計算から分子の透過性に関する知見が得られます!

弊団では、分子動力学計算による脂質二重膜への分子透過性評価を 行っております。 分子動力学計算から求められる自由エネルギーは系の安定性の予測に加え、 空間的、時間的に揺らぎのある系の物質分配、輸送現象の理解に繋がる重要な 値であり、例えば生体膜に対する分子の透過性に関する知見を得るのに有効です。 水溶媒中の脂質二重膜を例に、ベンゼン、二酸化炭素が移動したときの 自由エネルギー値から、膜中の分子の透過性を議論した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】量子化学計算によるイオン液体の熱分解反応の解析

シミュレーションから得た活性化エネルギー値より反応性が評価できます!

弊団では、量子化学計算によるイオン液体の熱分解反応の解析を行って おります。 イオン液体は高温下で長時間使用されることが多いため、熱分解などの 反応性を知ることは不可欠です。 量子化学計算によりイオン液体の熱分解反応の起こりやすさを評価した 事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】二次電池正極の結合状態評価

バインダー・被膜から活物質まで、サンプル本来の状態のまま評価可能!

弊団では、二次電池正極の結合状態評価を行っております。 表面状態を分析する手法の一つであるXPSは、検出深さが浅い(~10nm) こと から、バインダーや導電助剤等の評価に好適。 HAXPESは硬X線(Ga線)励起で検出深さが深いため、バインダー等に埋もれた 活物質の情報をダメージレスに得ることが出来ます。 【測定法・加工法】 ■[XPS]X線光電子分光法 ■[HAXPES]硬X線光電子分光法 ■雰囲気制御下での処理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】有機材料中の金属分析

マイクロ波分解とICP-MSを併用!有機材料中の金属分析が可能です

弊団では、有機材料中の金属分析を行っております。 金属成分は、半導体デバイス等においては有機材料へ混入した際に絶縁性の 低下を引き起こす要因となることもあります。そのため、有機材料中の 金属量を把握することは重要です。 本事例では有機材料(ポリエチレン製品、ポリプロピレン製品、 ポリイミドフィルム)中の金属量を分析しました。有機材料は密閉状態 (高温高圧下)でマイクロ波を照射して酸分解することが可能です。 【測定法・加工法】 ■[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】引張試験によるABS樹脂の構造変化観察

三次元構造変化をモニター!サンプルに負荷を加えた状態での三次元構造観察が可能

弊団では、in situ X線CTを用いた引張試験によるABS樹脂の構造変化観察 を行っております。 in situ X線CT測定では、試料に負荷(引っ張りもしくは圧縮)をかけた 状態で構造観察を行うことが可能です。 本事例では、ガラスフィラーを含むABS樹脂の試料片に引張りの負荷を 加えた状態でX線CT測定を実施し、試料にかかる引張応力を計算。各応力 条件ごとの樹脂及びガラスフィラーの三次元構造変化をモニターしました。 【測定法・加工法】 ■X線CT法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】Liイオン脱挿入過程のエネルギープロファイル

Liイオン脱挿入時のエネルギー障壁や溶媒和形成過程の情報が得られます!

弊団では、ESM-RISM法によるLIB負極/電解液における Liイオン脱挿入過程のエネルギープロファイルを承っております。 リチウムイオン二次電池(LIB)の充放電過程において、電解液中および 負極との界面近傍では溶媒和の形成、脱溶媒和、電気二重層の形成、 Liイオンの脱挿入など様々な現象が生じています。 本資料では有効遮蔽媒質(ESM)法とReference Interaction Site Model (RISM)をハイブリッドさせたESM-RISM法を用いて、グラファイト負極からの Liイオン脱挿入過程におけるエネルギープロファイル、溶媒和構造などの詳細を シミュレーションによって評価した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ポリカーボネートの末端基構造解析

熱分解GC/MSでポリカーボネートの末端基、製造法の区別が可能!

弊団では、ポリカーボネートの末端基構造解析を承っております。 ポリカーボネートは、耐衝撃性、耐熱性に優れたエンジニアリング プラスチックであり、電気・電子・光学機器の材料として広く使用。 その製造法には主に2種類の方法があり、ポリマーの物性に影響を与える 末端基構造は、製造法によって異なります。ポリマーの末端基部分は 主鎖に比べて微量であるため、その構造解析が可能な分析手法は限られます。 ここでは、熱分解GC/MSを用いてポリカーボネートの末端基構造を 評価した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】有機分子のNMR化学シフトシミュレーション

測定と計算を組み合わせた解析により構造異性体の識別が可能です!

弊団では、量子化学計算による有機分子のNMR化学シフトシミュレーションを 行っております。 有機分子の異性体構造の決定は天然物化学や創薬化学などの分野において、 非常に重要な課題。核磁気共鳴分析(NMR)の測定結果と量子化学計算による NMR化学シフトシミュレーション結果を組み合わせることは、構造-化学 シフト相関を調べるためのモデル化合物が無い新規化合物の構造解明や 特性評価に役立つと考えられます。 本事例では生物活性を有するキノキサリンの誘導体を対象に、 構造異性体の識別を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[NMR]核磁気共鳴分析 ■計算科学・AI・データ解析 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】オイルの分析(GC/MS編)

オイルによる汚染が疑われる場合に、オイル種を区別して発生源の推定が可能!

弊団では、石油製品の組成同定、分子量分布の評価、オイル種類の区別が 可能です。 オイル、グリース等の石油製品は様々な組成の炭化水素の混合物であり、 その定性分析にはGC/MS法が有効。ここでは、分子量分布の異なる 市販のオイルをソフトイオン化法で測定した事例を紹介します。 ハードイオン化法(EI法)に対して、ソフトイオン化法(FI法・FD法)では 分子イオンの検出が可能であり、オイル成分の組成評価に有効です。 特にFD法では揮発しにくい高分子量の成分を含むオイルの評価にも 適用することができます。 【測定法・加工法】 ■[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】毛髪断面の微細構造(S)TEM分析

毛髪細胞膜複合体(CMC)の観察事例をご紹介いたします!

弊団では、毛髪断面の微細構造(S)TEM分析を承っております。 毛髪細胞膜複合体(CMC)は、毛髪のブリーチや毛染めなどの際に薬剤の 通り道として利用されます。特にキューティクル/キューティクル間の CMCは3層構造を有しており、この可視化を行いました。 四酸化オスミウム(OsO4)で、脂質中の不飽和脂肪酸を狙って 電子染色を行いTEM観察及びSTEM-EDX分析をした事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■ウルトラミクロトーム加工 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ネガティブ染色による(S)TEM観察

リポソーム、CNF、微粒子、タンパク質などの形態を観察!

弊団では、ネガティブ染色による(S)TEM観察を承っております。 有機機能材料の微粒子や繊維状物質は、主にC(炭素)、H(水素)、O(酸素)、N(窒素)などの 軽元素から構成されるため、(S)TEMでは形態観察に必要なコントラストが得られません。 そこで、これらの材料には染色を行うことで コントラストを増大させ観察を行うことができるようになります。 本事例では、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・nH2O(略称PTA))を用いた ネガティブ染色観察を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察

SEM-STEM・(S)TEMによる高分子材料の観察事例をご紹介いたします!

弊団では、電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察を承っております。 高分子材料は軽元素で構成されているため、(S)TEM観察では 明確なコントラスが得られにくい材料です。そのような材料には 染色を行うことでコントラストを増大させることができます。 本事例では、電子染色と呼ばれる方法で四酸化ルテニウム(RuO4)、 四酸化オスミウム(OsO4)、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・ xH2O(略称PTA)を用いて染色観察しました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ALD成膜におけるプリカーサ吸着シミュレーション

基板上へプリカーサ吸着時の活性化エネルギー、反応熱の情報が得られます!

弊団では、第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着 シミュレーションを行っております。 ALD(原子層堆積法)は気相の連続的な化学反応を利用した成膜技術。 膜厚の厳密なコントロールが可能なことや、低温プロセスでの運用、 付き回りの良さなどの理由から、微細加工が求められる半導体分野を 中心に広く用いられています。 一般に成膜速度が遅いALDにおいて、異なる基板間の成膜速度の差を 理解するためには基板上へのプリカーサ吸着メカニズムの解明が求められます。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ラマンマッピングによる炭素材料の結晶性評価

非破壊で材料・結晶性の面内分布を可視化可能です!

弊団では、ラマンマッピングによる炭素材料の結晶性評価を承っております。 炭素材料は構造・結晶性によって異なる性質を有しており、工業部品や 医療器具など様々な用途で使用。材料開発の指標として、材料の特性と 結晶性を紐づけることは有効です。 本資料では、部品表面に塗布された炭素材料であるダイヤモンド粒子の 面内分布(ピーク強度)および各ダイヤモンド粒子の結晶性(半値幅)を ラマンマッピングにて評価した事例をご紹介いたします。ダイヤモンドは 1330cm-1に鋭いピークが感度良く観測され、ラマンでの評価が有効です。 【測定法・加工法】 ■[Raman]ラマン分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ラマンマッピングによる有機膜の組成分布評価

有機成分の面内分布を可視化することが可能です(無機成分も可)!

弊団では、ラマンマッピングによる有機膜の組成分布評価を承っております。 材料を混合することで機械特性・熱耐性・耐久性などの特性が変化。 材料開発をする上で、材料特性と混合条件を紐づけることは重要であり、 分散具合を指標とすることは有効です。 本事例では、PS(ポリスチレン)/PCL(ポリカプロラクトン)の分布を ラマンを用いてマッピングした評価事例をご紹介。材料毎の特長的な ラマンピークを比較することで、混合物の分離が可能です。 PS特有の3050cm-1付近のスペクトル解析にてPCLとの成分分離を行いました。 【測定法・加工法】 ■[Raman]ラマン分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】キューティクルのイメージング

毛髪のキューティクルにおける成分分布の評価が可能です!

弊団では、キューティクルの成分分布評価を承っております。 キューティクルの評価はその微細さから電子顕微鏡での構造観察にとどまっており、 詳細な成分分布は不明瞭でした。 無機物・有機物についてサブミクロンオーダーの分布を評価できるTOF-SIMSを用いることで、 キューティクル中の多彩な成分の分布を評価することが可能です。 本事例では毛髪を評価し、キューティクル中の成分分布を可視化した 結果を紹介いたします。 【測定法・加工法】 ■[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】PDMSのAFMによる動的粘弾性評価

粘弾性率の面内分布評価及び周波数依存性評価についてご紹介!

弊団では、PDMSのAFMによる動的粘弾性測定を承っております。 高分子材料の研究・開発において重要な要因である 力学特性を示す粘弾性挙動を調べる方法として、 動的粘弾性測定(DMA:Dynamic Mechanical Analysis)は有効な手段。 また、AFMの機構と組合せることで、 面内分布測定や局所領域での評価が可能となります。 本事例ではAFM-DMAを用いて、高分子であるPDMS(ジメチルポリシロキサン)の 粘弾性率のマッピング及び周波数依存性スペクトロスコピー評価を ご紹介いたします。 【測定法・加工法】 ■[AFM]原子間力顕微鏡法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】半導体中キャリアの直流電圧依存性評価

半導体中のキャリアの挙動を可視化できます!

弊団では、半導体中キャリアの直流電圧依存性評価を承っております。 SMM計測は半導体中のキャリア濃度の大小をマッピングできる手法です。 また、SMM計測時に試料に直流電圧を印加してキャリアを誘起させながら 計測することが可能です。 各測定点で印加電圧条件ごとにSMM信号を取得しながらマッピング測定を行い、 データキューブを構築。全データ収集後に印加電圧条件ごとにSMM信号を 解析することで、印加電圧に対するキャリアの振る舞いを可視化することができます。 【測定法・加工法】 ■[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】リチウムイオン二次電池負極材の構造評価

二次電池の活物質・集電体の構造を三次元で評価可能!

弊団では、リチウムイオン二次電池負極材の構造評価を承っております。 リチウムイオン二次電池の負極材料は、活物質の分散度合や空隙率など といった構造状態が性能に影響を及ぼします。 本事例では、負極材の内部構造を非破壊かつ高精細に測定できるX線CTにて 三次元構造を観察しました。X線CTで得られた結果を解析することで、 電極材料中の異物の検出や、活物質層の空隙率の評価も可能です。 【測定法・加工法】 ■X線CT法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】3Dプリンター造形物の三次元構造解析

製品の三次元構造を測定、解析することで品質管理に役立てます!

弊団では、3Dプリンター造形物の三次元構造解析を承っております。 設計図と製造品の違いを把握することは、品質管理において 重要なプロセス。X線CT測定を行うことで、3Dプリンターにて 印刷した造形物と設計図との三次元構造的な「ズレ」の比較が 可能となり、出来栄えを評価することができます。 本事例では、樹脂系材質の成形品について評価していますが、 X線が透過する金属系材質の成形品についても同様の評価が可能です。 【測定法・加工法】 ■X線CT法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ミクロトーム法で作製した毛髪断面の機械特性評価

ソフトマテリアル内部構造の弾性率評価が可能です

物質の内部構造の評価にあたっては、切削や研磨等の断面加工技術により内部構造を保ったまま露出させることが求められます。本資料では加工ダメージの影響が比較的小さなミクロトーム法を用いて毛髪断面を作製し、内部構造のAFM観察、および弾性率評価を行った事例を紹介します。 ミクロトーム法はゴム材料や生体試料等のソフトマテリアル分野で幅広く用いられている切削加工技術であり、本アプローチによってこれらの材料に対して内部構造の機械特性評価が可能となりました。 【測定法・加工法】 [AFM]原子間力顕微鏡法 [AFM-MA・AFM-DMA]機械特性評価(弾性率測定・動的粘弾性率測定) ウルトラミクロトーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】二次電池正極活物質の局所領域評価

活物質表層近傍の組成、結晶構造、化学状態評価が可能!

弊団では、二次電池正極活物質の局所領域評価を承っております。 リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入や劣化に伴い、 活物質表層の結晶構造や金属元素の価数が変化することが知られています。 局所領域の評価としてTEMを用いて組成、結晶構造、化学状態の評価を行った本事例では、 EDXにより最表層にAlOxがコーティングされていることがわかりました。 また電子回折とEELSにより、活物質の表層と内部では 結晶構造および価数が異なっていることがわかりました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】X線小角散乱法によるAuナノ粒子の粒径解析

SAXS分析では粒径の統計的な分布の把握が可能!固体/液体の状態を問わずin situでの評価ができます

弊団では、X線小角散乱法によるAuナノ粒子の粒径解析を承っております。 金属ナノ粒子はバルクの金属には見られない特異な性質を示すことが 知られています。高い触媒性や表面プラズモン共鳴のような光学特性から、 燃料電池の電極触媒やバイオセンサー等に用いられています。これらの 特性を制御するためには、構造や組成等を把握する必要があります。 TEMとSAXSを相補的に用いることで信頼性の高い粒径解析を実施することが 可能です。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[SAXS]X線小角散乱法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価

規格に則った試験によって不動態膜質に関する評価指標が得られます!

弊団では、SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価を承っております。 ステンレス鋼は、表面に極薄い緻密で安定したCrの酸化被膜(不動態膜)が 形成されることで、優れた耐食性を示します。 この不動態膜には、表面敏感な手法であるXPSやAESによる組成、 膜厚の評価が有効です。 【測定法・加工法】 ■[AES]オージェ電子分光法 ■[XPS]X線光電子分光法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】顔料のダイレクトMS法による同定分析

高分解能質量分析計で顔料の分子量・組成式・構造式を推定!

弊団では、顔料のダイレクトMS法による同定分析を承っております。 顔料は溶剤に不溶であるという性質から、クロマトグラフィー分離が出来ず 分析手法が限られますが、試料を質量分析計に直接導入する ダイレクトMS法を用いて評価が可能です。 ダイレクトMS法にはいくつかの手法があり、試料の性質に応じた 使い分けが必要です。トナー中の顔料を測定した本事例では、 分子イオンが検出され、構造を推定することができました。 【測定法・加工法】 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察

数十nmオーダーの狙い精度で数百μm角の断面観察が可能!

弊団では、Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察を承っております。 集積回路、電極やプリント基板、半導体パッケージの電極を 電気的に接続する金属製ボンディングは直径数十μm~数百μm程です。 Xe-PFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)では数十nmオーダーで 加工位置を狙い、数百μm角の断面を作製できるため、 ボンディング中央にて全景を詳細に把握することができます。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】MRAMのFe/MgO/Fe接合系の理論計算

NEGF法を用いた第一原理計算によってFe/MgO/Fe接合系に対してTMR比やスピン・電荷の様子を評価!

弊団では、MRAMのトンネル磁気抵抗効果を示すFe/MgO/Fe接合系の 理論計算を行っております。 トンネル磁気抵抗効果(TMR)は薄い絶縁層を挟んでいる強磁性層の 磁化の向きによって電気抵抗が変化する現象であり、磁気抵抗メモリ (MRAM)などへの応用が進められています。 シミュレーションを用いることで、バイアス印加時の振舞いや界面における歪み、 酸素欠損などがTMRの物性に及ぼす影響についても評価可能です。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析

非破壊でデバイス内部の特異箇所を把握!断面観察にて特異箇所の詳細な構造や組成情報を評価

弊団では、電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、 観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した本事例では、 まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索。 続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて 詳細な構造を確認しました。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM) ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ARXPSによる極薄膜の組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能!

弊団では、ARXPS(角度分解XPS)による極薄膜の組成分布評価を 承っております。 X線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、 それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いて サンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価。 従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、 深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる 組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜(数nm程度)の デプスプロファイル評価に有効です。 【測定法・加工法】 ■[XPS]X線光電子分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】こんにゃく中のグルコシルセラミド定量分析

作物や加工品中のグルコシルセラミド定量分析が可能!

弊団では、こんにゃく中のグルコシルセラミド定量分析を 承っております。 グルコシルセラミドは食物に含まれる糖脂質のひとつ。肌に直接塗布する 化粧品だけでなく、グルコシルセラミドを配合したサプリメントなどの 健康食品や一般食品、飲料等多くの加工品が販売されています。 HPLCを用いることにより、原料となる作物や加工食品に含まれる グルコシルセラミドの量を高精度に分析することが可能です。 【測定法・加工法】 ■[HPLC]高速液体クロマトグラフ法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】in-situXAFSでのRuO2触媒の化学状態評価

着目のガス雰囲気・温度条件下での測定が可能!触媒等、特殊な環境での状態評価が必要な場合に好適

弊団では、in-situ XAFSによるRuO2触媒の化学状態評価を 承っております。 試料周りの環境を着目に応じたガス雰囲気・温度に制御した条件下で、 試料の化学結合状態・局所原子構造が評価可能。そのため、触媒等、 特殊な環境での状態評価が必要な場合に適しています。 in-situ XAFSを用いてRuO2粉末を還元雰囲気下で室温から400℃まで 昇温させ、RuO2の状態変化を捉えた事例では、スペクトルの形状から、 100℃~200℃の間でRuO2がRuに還元されることが確認されました。 【測定法・加工法】 ■[XAFS]X線吸収微細構造 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】NMR-混合試料のスペクトル分離 DOSY法-

単離精製を行わずにNMRで混合試料の構造解析ができます!

弊団で行うDOSY法によるスペクトル分離技術について、ご紹介します。 NMRは通常、混合試料中の各成分の構造解析を行う場合、 各成分を単離精製した後、各々測定します。 DOSY法は、各成分の拡散速度の違いを利用することで 各成分ごとにスペクトルを分離することができるため、 単離精製することなく混合試料中の各成分の構造解析を行うことができます。 【DOSY法の特長】 ■分子量による物理的な分離が困難な試料の測定に有効 ■前処理により構造変化が起きる試料の測定に有効  (例:タンパク質など生化学分野の試料など) ■複数の成分の混合したスペクトルを分離できることから、  各成分の構造解析が容易 ■混合物中の各成分の分子の運動性に関する知見が得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】NMR-混合試料のスペクトル分離 フィルターの利用-

単離精製を行わずにNMRで混合試料の構造解析ができます!

混合試料中の各成分の緩和時間あるいは拡散係数の差を利用した測定方法を 用いて高分子あるいは低分子の信号を強調する技術をご紹介します。 静磁場中の原子核に電磁波を照射すると、エネルギー差ΔEに相当する エネルギーを吸収して励起状態になります(核磁気共鳴)。 電磁波照射を止めたとき、元の状態に戻る過程は緩和と呼ばれ、 緩和時間とはこの過程に要する時間です。緩和時間は分子の運動性に 密接に関係します。 本事例では、実験的に低分子としてエタノールおよび高分子としてポリビニルピロリドンを混合した溶液を、 緩和時間あるいは拡散係数の差を利用して分析し、エタノールあるいはピロリドンいずれか1成分の信号を 強調したデータを紹介します。 【測定法・加工法】 ■[NMR]核磁気共鳴分析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】31P核を用いたNMRの定量分析

31P核を用いてリンを含む有機化合物の濃度を算出することが可能!

弊団では、NMR(核磁気共鳴分析)を承っております。 NMRは核スピンを直接観測していることから、測定で得られる測定核種の ピークの面積(:積分値)は、測定対象の溶液あるいは固体に含まれる 核種の数および濃度に比例。 この原理からNMRでは検量線を必要としない定量分析が可能。 例えば、31P核のピークの積分値を用いて関係式に従い、二種類の 混合試料の一方の既知の濃度から他方の濃度を求めることが可能です。 【測定法・加工法】 ■[NMR]核磁気共鳴分析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】Siウエハ表面の金属汚染分析

定性・半定量分析にて一度に多くの金属元素情報を取得することも可能!

弊団では、Siウエハ表面の金属汚染分析を承っております。 ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染分析の目的には、Siウエハ自体の 汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の 評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。 ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、 さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。 【測定法・加工法】 ■[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのTEM分析

大気非暴露のFIB付き高分解能SEM装置で観察!

弊団では雰囲気制御によって大気暴露を抑え、さらに冷却して加工・観察・ 分析を行うシステムを整備しております。 試料本来の構造を保ったままTEM薄片試料を作製し、観察・分析可能。 不安定な材料でも冷却して薄片化加工を行い、真空を維持したままで 加工⇔観察装置間の移動を行うことで、大気暴露と熱による変質を抑えた 断面TEM/SEM観察が可能です。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■雰囲気制御下での処理 ■クライオ加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【分析事例】ウェハ上パーティクルの組成分析

SEM-EDXによる形状観察及び簡易定量分析

半導体ウェハ製造プロセスにおけるパーティクルの制御は、ウェハの品質を担保する上で非常に重要です。本事例では、Siウェハ上パーティクルのSEM観察及びEDX分析と簡易定量(※1)によって、パーティクルが何かを推定しました。サブミクロンの高い空間分解能を持ち、数cmの領域を走査できるSEM装置では、形状及び組成情報からウェハ上のパーティクルが何かを速やかに推測でき、発生工程を素早く特定することができます。欠陥検査装置の座標データとリンクした分析も可能です。

  • 受託検査
  • ウエハー
  • その他半導体製造装置

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【分析事例】フロンガスの定性分析

特定フロン(CFC/HCFC)や代替フロン(HFC)の定性分析が可能です。

フロンガスは化学的に極めて安定、かつ、人体への影響が小さいといった性質から、冷媒、発泡剤、半導体、及び、精密部品の洗浄剤など、様々な用途で活用されています。その一方で、オゾン層の破壊や地球温暖化につながる物質であるため、法律で規制されています。本事例では、GC/MSにてフロンガスを分析し、PFCの中でも極性が低く分離が難しいCF4の分離分析を行いました。GC/MSを用いることにより、特定フロンのCFC、HCFCや、代替フロンのHFC、PFCを定性的に分析することが可能です。

  • 受託測定
  • 環境分析

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in situX線CTを用いた引張試験による金属材の構造変化観察

引張応力ごとの三次元構造変化を評価可能

in situ X線CT測定では、試料に負荷(引っ張りもしくは圧縮)を印加した状態で内部構造分析を行うことが可能です。本資料では、アルミニウム板を試料として、通常状態と引き伸ばした状態においてin situ X線CT測定を実施しました。そして、試料にかかる引張応力を計算し、各応力条件ごとの内部構造変化をモニターしました。 in situ X線CT測定と画像解析技術を組み合わせることで、従来では評価が困難であった実使用条件下 での評価や応力による製品への影響の評価が可能です。

  • 受託測定
  • 受託検査

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