Siウエハ表面の金属汚染評価
ICP-MS:誘導結合プラズマ質量分析法
ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年09月16日~2026年10月13日
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ICP-MS:誘導結合プラズマ質量分析法
ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。
TOF-SIMS、D-SIMS:二次イオン質量分析法
半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。 MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-SIMS)で深さ方向へ定量するという、デバイス中の不純物評価が可能です。 本件では、無アルカリガラス中の金属不純物を測定した事例を紹介します。
主成分や添加物の分布が可視化できます
様々な形状を持つ薬の中でも錠剤は広く普及していますが、各成分がどのような状態で入っているかはあまり知られていません。錠剤内部における薬効成分の分布について知見を得るために、市販されている錠剤タイプの風邪薬の断面についてTOF-SIMS分析を行いました。錠剤外側の層では滑剤成分起因と推定されるSiO2がほぼ均一に検出され、一方内部においては薬効成分のアセトアミノフェン・無水カフェイン・dl-メチルエフェドリン・ノスカピンがそれぞれ分散している様子が分かりました。
熱伝導性の情報から高分子の相分離構造を可視化することが可能です。
SiO2製のプローブ先端にPd がコーティングされており、プローブそのものが電気抵抗体となります。そのため、プローブ先端に電流を流すと温度上昇が起こり、試料表面に接触させると、試料がプローブの熱を吸収します。プローブ温度が一定になるように、プローブに供給する電気量を調整し、その供給する電気量の変化を計測点毎にプロットすることで、測定箇所(材質ごと)の熱伝導性を分布として可視化します。
CellPet FTを用いたがんオルガノイドの抗がん剤評価についてご紹介!【技術資料無料進呈】
当資料は、スフェロイド小片化・分散装置「CellPet FT」を用いた "F-PDOの小片化/抗がん剤評価"について掲載している技術資料です。 70μmのメッシュフィルターを使用し、処理直後から培養3日、9日、 13日の様子を写真を用いてご紹介しています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動培養装置「MakCell」は、手培養と比較して温度環境の変化が少ない!【技術資料無料進呈】
卓上型自動細胞培養装置「MakCell」と手培養の比較評価についてご紹介します。 手培養と比べ、MakCellでの培養は、 得られた細胞数の増加が確認できました。 細胞の形態については、特に変わった様子は確認できず、 浮遊する細胞についてはMakCellのみならず手培養ともに確認できました。 ~限定情報~ 現在庫2台(2023年3月時点)に限り、 定価 13,700,000円(税抜)が、2023年6月末までの納入で 約28.5%値引きの定価9,800,000円(税抜)で販売致します! [搬入調整費 別途 300,000円(税抜)] ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
GD-OES(グロー放電発光分析)によりNiめっきの膜厚、濃度の分析状態を把握できます。他の表面加工の解析にもご活用ください
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。 この事例ではGD-OESによる「めっき工程前の基板洗浄効果調査」を紹介します。 ぜひPDF資料をご一読ください。 弊社では、本事例以外でもめっき関連の分析実績は多数あります。 また、本GD-OESに加えXPS、オージェなどの各種表面分析を行っております。 何かございましたらお気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
信頼性評価・解析、分析等、品質技術に関する『無料セミナー』を開催しています
不定期ではありますが、年に数回の頻度で、信頼性評価・解析、分析等、品質技術に関する『無料セミナー』を開催しています。 ■開催テーマ例■ 開催のご案内は、弊社メールマガジンの購読にご登録いただいたお客様に対して、配信をさせていただいております。無料セミナーのほかにも、お得なキャンペーン等のお知らせも配信致します。 是非ご登録をご検討ください。
信頼性評価・安全性評価・故障解析・分析の技術資料を掲載しています!
信頼性評価・故障解析全般の技術・事例を集結した「信頼性ハンドブック」、どの手法で何を分析できるかを記載した初心者にもわかりやすい「分析ハンドブック」、FTAの考え方から導き出した「安全性・機能性・信頼性評価・解析メニュー」、電子部品の不具合調査・信頼性評価に関するサービスメニューをまとめた「電子部品 故障解析・信頼性評価 サービスカタログ」をダウンロードいただけます。
パワーモジュール・パワーデバイスの信頼性評価。お客様のパワーサイクル仕様に合わせた試験環境の構築から調査解析までをご提案!
パワー半導体やパワーモジュールなど、電源ON/OFFを繰り返すと、部品・モジュールの自己発熱と冷却の繰り返しにより接合材料の膨張差から歪が発生し接合信頼性の劣化を招きます。自己発熱と冷却の繰り返しサイクルにより発熱動作を考慮したパワーサイクル試験を受託します。 ■パワー半導体・パワーモジュールの採用が進んでいる部品・ユニット・装置 ・電気自動車(EV)、ハイブリッド車(HEV)のトラクションインバーター ・車載充電器、DC-DCコンバーター ・モーター制御、ロボット、工作機械、エレベーター ・産業用インバーターや無停電電源装置(UPS) ・太陽光発電システムや風力発電システム
年々増えるバッテリー発火事故への対応・防止策に必見!解析・評価手法、チェックポイントはどこ?製計・品質管理をサポートします
本資料は、バッテリーに関するノウハウがない方から、 リチウムイオンバッテリー搭載機器の開発者までを対象に、 発火・発煙リスクを検証する重要性と、検証方法を解説した資料です。 リチウムイオンバッテリーの信頼性と安全性を評価してきた実績をもとに、 加熱限界試験や釘差し試験、長期保管後の再充電を想定した動作検証など、 各評価を行う意味と、試験の種類をご紹介しています。 年々増えるバッテリー発火事故への対応・対策にお悩みの方に必見の一冊です! 【掲載内容】 ■バッテリ故障解析について ■バッテリ評価について(信頼性/安全性) ■バッテリパック保護回路検証について ■バッテリの製造品質リスク確認 ※リチウムイオン電池の評価/解析ガイドブックは<カタログをダウンロード>よりご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
単位作業場を縦横等間隔に区切って行うA測定や気中濃度のB測定など!技術情報のご紹介
作業環境測定の評価についてご紹介いたします。 A測定とは、気中有害物質の濃度の平均的な状態を把握するために、単位作業場を 縦横等間隔に区切って行う測定です。 B測定とは、A測定を補うための測定で、作業者の曝露量が最大と考えられる場所と 時間における気中濃度の測定です。 【概要】 ■A測定:気中有害物質の濃度の平均的な状態を把握するために、単位作業場を 縦横等間隔に区切って行う測定 ■B測定:A測定を補うための測定で、作業者の曝露量が最大と考えられる場所と 時間における気中濃度の測定 ■第1評価値:単位作業場内の5%がこの濃度を超えている ■第2評価値:算術平均値 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
複合機は1台で行える多機能な機器です。 その為、あらゆる角度からテストを行う必要があります!
弊社ではソフトウエア評価を通じて、出荷前に事前に不具合(バグ)を検出し、ソフトウエア品質向上に貢献すべく、日々努めています。 その中でも、特にデジタルカラー/モノクロ複合機のソフトウエア評価を行っています。
各種解析による性能評価、サスペンション制作、軽量・高剛性な部品の製作、車体・フレーム性能評価などを受託しております
CAE による強度解析を行います。強度、運動、流体の解析を行います。ホイールインモーター等の特殊なサスペンションの製作もいたします。 簡易な治具を製作し、溶接構造部品を短納期で製作、溶接後の熱処理や機械加工を前提とした、高精度な部品の製作も承ります。 高張力鋼、チタン、コンポジット素材を用いた、軽量な部品を製作します。オリジナルフレームの製作や、改造フレームをご要望の予算、性能にて製作いたします。
成長市場「水ビジネス」で最も期待されている「水処理膜」技術! 水処理膜の透過・濾過の基本メカニズム、最新の水処理膜技術等詳説!
○発刊日2012年01月30日○体裁B5判上製本 276頁○価格:本体 60,000円+税 →STbook会員価格:56,952円+税 ○著者:栗原優 東レ(株) / 富岡洋樹 東レ(株) / 田中祐之 東レ(株) / 入谷英司 名古屋大学 / 片桐誠之 名古屋大学 / 松山秀人 神戸大学 / 辺見昌弘 東レ(株) / 志村晴季 東レ(株) / 熊野淳夫 東洋紡績(株) / 新谷卓司 日東電工(株) / 中塚修志 ダイセン・メンブレン・システムズ(株) / 峯岸進一 東レ(株) / 小森研司 東レ(株) / 上西理玄 三菱レイヨン(株) / 森田徹 住友電工ファインポリマー(株) / 都留稔了 広島大学 / 浦瀬太郎 東京工科大学 / 木曽祥秋 豊橋技術科学大学 / 中村一穂 横浜国立大学 / 渡辺義公 北海道大学 / 山村寛 旭化成ケミカルズ(株) / 加藤雅敏 片山ナルコ(株) / 松本英俊 東京工業大学 / 谷岡明彦 東京工業大学 / 松方正彦 早稲田大学 / 比嘉充 山口大学 / 野村幹弘 芝浦工業大学
プレス成形シミュレーションを最適化し、初期段階でのスプリングバックの分析で、製品およびダイフェースの開発を素早く修正可能。
通常、プレス成形シミュレーションの最終工程で行っているスプリングバック見込み補正を早期段階の工程で修正することにより、金型の加工後よりより容易かつ安価に行うことが可能となります。 【掲載内容】 ・より正確な材料情報を適用したシミュレーション ・スプリングバックの測定に有効なメッシュおよびコントロール・パラメータ ・生産計画を再現した部品のシミュレーション ・安全な「グリーン」のシミュレーションの構築 ・スプリングバックの解析と測定の設定に関する諸注意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
あえて残渣が残存しやすい条件で作成したサンプルを用いて洗浄評価を実施!
車載・産業用途のパワー半導体分野では、熱ストレスに対する高耐性・ 高信頼性を実現できる接合技術として、はんだ接合に代わる「シンター接合」 の採用が広がっています。 無洗浄はんだ接合技術と同様にシンター接合も基本は「無洗浄」での設計が なされています。 ですが、現在主流となっているシンター接合手法は高温・高圧条件下で 行われるため、接合プロセス中に発生・固着した残渣が、後工程や長期信頼性 に影響を及ぼす可能性があり、1つの解決手法として洗浄が挙げられます。 シンター接合には「無加圧」手法も存在するものの、強度や再現性の観点から 用途は限定される傾向にあります。また、残渣レスではありますが、「残渣ゼロ」 ではないため、信頼性を得るためには、同様に洗浄は1つの解決手法となりえます。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
最短半日見積り/10/23 開催「ヘルスケア・医療機器 開発展(MEDIX)」へ出展致します。
弊社は、精密加工部品を扱うファブレスメーカーです。 ものづくりに於いて欠かせない、3つの分野の事業を展開しており、 培ってきたネットワークと情報力でお客様のものづくりをアシストします。 ◎ 精密機械加工部品の調達 ◎ 加工部品や開発品の計測と評価 ◎ 機械装置や専用治具の設計・製作 調達に於ける独自の「ビジネスモデル」や 幅広い「加工技術」と「検査設備」が お役に立つかもしれません。 「展示会」医療機器・ヘルスケア 開発展(MEDIX)へも 出展しますので、是非とも実際にご覧いただき 弊社を知っていただければと思います。 「会社案内」は下部のカタログダウンロードよりご覧いただけます。 金属~樹脂までOK!試作・開発部品の切削加工はお任せください。 ご不明な点はお気軽にお問い合せくださいませ。 ※画像は「東京・機械要素技術展」へ出展した際のブースです。
対象物表面の歪を測定・評価する「面歪スキャニングセンサ」についての技術資料
八光オートメーション株式会社の「面歪スキャニングセンサ STRIPER」は、ストライプパターンの変化量(変位)から曲率を算出し、対象物表面の歪を測定/評価します。 "変位”ではなく、なぜ"曲率”なのでしょうか? 数μmの微小歪を"変位”で評価しようとすると、測定対象面の変位の中に 埋もれてしまうため、歪部分の区別・抽出が困難です。 微小歪を"曲率”で評価すると、測定対称面の緩やかな変化・傾きは 曲率半径が大きく曲率はほぼ“0”になるのに対し、歪み部分は曲率半径が 小さいため、曲率が大きく変化し区別が容易となります。 【掲載内容】 ■曲率とは? ■メリット 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
漆黒性/ピアノブラック評価の黒色度計算方式を搭載。 色・光沢・蛍光の管理の管理だけでなく、黒色度評価を可能にします。
ドイツ製BYK-Gardner社製分光測色計・色彩色差計。 spectro 2 guide(分光測色計・色彩色差計)は、色彩測色計と蛍光性、そして光沢度計を組み合わせたトータルソリューションをする測定器です。ハイパフォーマンスに総合的な色管理が可能でありながら、操作はシンプルさを追求し3.5インチタッチカラーディスプレイを搭載。 ディスプレイに映し出したライブビュー映像で、ピンポイントの測定が可能。それは色を触っているかのような新しい操作感覚です。 また、ピアノブラック加飾評価用に、黒色度専用計算式も搭載。今まで出来なかった評価を可能にします。
DSNG法は、LESのような高コストシミュレーションと比較して、CPUコストを1オーダー以上削減します
空力騒音予測において、合成乱流再構築モデルを適用すれば、少ない計算機リソースしか必要としないため、工業的な観点から非常に魅力的です。本ケーススタディでは、ロバストで効率的な空力騒音シミュレーションのために、SNGR(Stochastic Noise Generation and Radiation)法がさまざまな産業への適用について評価されました。SNGR法は、乱流カスケードに特有な連続的エネルギー輸送をモデル化しないという点において、収束性の不足が確認されています。また、エネルギー輸送プロセスは、乱流構造の時間相関を大幅に減少させるので、これは音の放射と特に関連があります。
自動スキャン分光濃度FD-9(コニカミノルタ製)にて測色し、色差マッピングを実施!
「大気圧プラズマ用」のNo.41(高感度)を用いて、長尺型大気圧 プラズマ装置の分布評価を行いました。 結果、目視で大気圧プラズマ装置の処理ムラが検知可能。中心がよく 変色していることから、プラズマ処理に偏りがあることがわかりました。 現在使っている装置の状態を把握することができるため、メンテナンス用途 としても使用可能なほか、色差計を活用することで、数値解析をすることが でき、面内の分布評価を定量的に行うことができます。 【装置情報】 ■装置型式:株式会社電子技研製 AP-2000 誘電体バリア放電式大気圧プラズマ装置 ■処理条件:CDA:6SLM、出力7.5kV、処理速度 300mm/min、処理回数1回 ■色差計:コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 FD-9/MYIRO-9(測定光源 C、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
変色色差ΔE*abが増加!弱いプラズマ処理効果もインジケータでは検知できる
「PLAZMARK大気圧プラズマ用」のNo.41(高感度)とNo.42(低感度)を 用いて、ドライエアー大気圧プラズマ処理前後のインジケータの 色調変化と、PETフィルムに対する水の接触角およびインジケータの 変色色差を確認します。 No.41(高感度)インジケータは弱いプラズマ処理条件のPETフィルムに 対する水の接触角と相関が見られ、No.42(低感度)インジケータは 水の接触角と相関が見られました。 詳しい技術データについては関連リンクよりご覧いただけます。 【装置情報】 ■装置型式:株式会社電子技研製 AP-2000 誘電体バリア放電式大気圧プラズマ装置 ■色差計:コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5(測定光源M1、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
環境振動は、予測・評価・対策の観点からそれぞれの特長を捉える必要があります!
当社では、道路交通振動、鉄道振動、工場振動、建設作業振動、 イベント振動などの環境振動を計測し、目的に応じて分析・評価を行います。 「環境影響評価」では、対象物件の振動計測を実施し、振動源の特定および 振動影響評価を行います。対象物件がどのような振動影響を受けているかを、 目的に応じた評価指針に基づき評価します。 現状の振動源あるいは将来における新たな振動源により、対象物件・地域における 振動が許容限度を超えると判明し、振動対策を講じる場合には、計測データから 減振設計のために必要な情報を得て、対策工を設計。 また、対策後にも振動計測を行い、対策効果を確認します。 【計測機器】 <加速度ピックアップ> ■NP-7310 ■VSE-15A ■VSE-15D ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
作業行為が環境に及ぼす影響を調査、分析!一貫した業務体制でトータルサポート
『環境アセスメント(環境影響評価)』とは、作業行為が環境に及ぼす影響を 調査、分析等を行うことで回避・低減させることを目的としています。 当社は、調査計画から現地調査・分析、予測、調査結果に関する書類作成や、 手続きに係わる環境関連事項のきめ細かなコンサルティングを行うなど 一貫した業務体制で、お客さまをトータルサポート致します。 【アセス法の対象となる事業】 ■道路 ・高速自動車国道、首都高速道路等 ・一般国道、大規模林道 ■河川 ・ダム、堰 ・湖沼水位調節施設、放水路 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短納期で安全試験・充放電試験を始めとする各種受託試験が可能です! 試験までのリードタイムにお困りの方は是非お問合せ下さい!!
電池需要の増加、高容量活物質の採用・新材料の評価等で昨今リチウムイオン電池(LIB)の安全試験のニーズが高まるにつれて、試験までのリードタイムが非常に長くなりスケジュールが間に合わない事例が多く発生しています。 「来週中・今月中に評価しなければならない…」そういった納期でお困りの方は是非お声がけ下さい!! ※従来一部用途向けで限定運用していた装置を本格稼働させる事で、評価体制に余力が出来た事で短納期での評価が可能になりました。 電池技術者による試験プランニング・結果解析により、お客様の開発を加速します。
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数(屈折率・消衰係数)や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 1. はじめに 2. エリプソメトリーについて 3. PVA膜スピンコート直後の経時変化 4. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価 5. おわりに
OECDガイドライン(TG439) 対応!3次元ヒト皮膚モデルを用いて、 化学物質、化粧品、医薬品原料の皮膚刺激性を試験・評価!
ヒト皮膚モデル(EPI-200)を用いた皮膚刺激性試験です。GLP対応実績あり。 化学物質、化粧品/化粧品原料、医薬品原料などの皮膚刺激性をin vitro で評価します。 EU CLP 及び UN GHS における皮膚刺激性カテゴリーの判定や、 GHS分類、SDS作成、REACH登録等にご活用いただけます。 既知の物質を用いた確認試験で実証済みです。 【特長】 ■各国の規制への対応 ■低価格・短納期を実現するスクリーニング試験のご提案 ■国際的な認証施設として信頼にお応えします →AAALAC International(国際実験動物ケア評価認証協会)認証施設 →40年以上の歴史を持つGLP適合施設 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。