露光装置 - メーカー・企業34社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年11月05日～2025年12月02日
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露光装置のメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2025年11月05日～2025年12月02日
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- 株式会社三明 静岡県/産業用電気機器
- 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所） 東京都/電子部品・半導体
- 株式会社ナノシステムソリューションズ 神奈川県/産業用電気機器
- 4 株式会社大日本科研 京都府/光学機器
- 5 株式会社サーマプレシジョン 本社、名古屋営業所 東京都/その他
露光装置の製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年11月05日～2025年12月02日
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- LED光源マスクレス露光装置 DL-1000シリーズ 株式会社ナノシステムソリューションズ
- i線ステッパー露光装置 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
- 半自動露光装置『半自動マスクアライナー』 株式会社三明
- 4 マスクレス露光装置「MXシリーズ」 株式会社大日本科研
- 5 自動両面露光装置 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部
露光装置の製品一覧
46～60 件を表示 ／ 全 81 件
表示件数
紫外線偏光露光装置 HC−1001PUFM
均一性の優れた一定の偏光光のみを選択して照射する光源装置
【特徴】 ○水銀キセノンランプを光源とし、紫外線コールドミラーと 光学インテグレータ使用により、均一性の優れた一定の 偏光光のみを選択して照射する光源装置 ○偏光消光比 50：1以上の光を照射 ○高透過率干渉フィルターを装着することで 照射波長を選択することができる ○希望の照射面積・照射強度に対応可能
- 企業：山下電装株式会社
- 価格：応相談
φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置
各工程インテグレードで効率生産！！！
<特徴> MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。 エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応 スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で パターニングが可能（オプション） レチクル自動交換（オプション）
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
小型ウエハー自動露光装置
LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
ウエハー露光装置（マスクアライナー） 研究開発用
研究開発用手動タイプ
概要 研究開発，小ロット生産まで多用途に対応が可能 ハードコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシティーを選択し使用用途に合わせて提案
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
UV露光装置 UVL-3
超高圧水銀ランプを光源に使用した簡易的な露光装置です
『UVL-3』は、卓上型のUV露光器です。 主にガラス基板等を使用するフォトリソグラフィ工程において、 露光焼付けを手軽に行うことが可能。 カラー液晶と十字キーを装備し 照射時間を正確にコントロールします。 【特長】 ■フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置 ■卓上型・一体型のため省スペース ■マイコン搭載により、照射時間を正確に制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：壷坂電機株式会社
- 価格：応相談
2サイズインチ兼用自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）
サイズ切替が容易なウエハ2サイズ兼用オートマスクアライナー。簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント。
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。 φ3、4インチ φ4、６インチなどの2サイズのウエハが兼用可能です。 切替作業は、非常に簡単。3つの部品を交換するだけでOK。 搬送ロボットの微調整など一切不要です。 更にフォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行い、 製造工程における段取り替え時間を大幅に削減可能です。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■複数基板サイズ対応 ■段取り替えが容易 ■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光 ■オートアライメント機能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■超精密UVWステージ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
- 価格：応相談
半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）
ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 fast露光モード、アライメント露光モードを設定可能。
当製品は、半自動両面同時露光装置です。 ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。 マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。 アライメントなしのfast露光モード、 ウエハとマスクのアライメントを主導で行うアライメント露光モードを レシピで選択。 ベルト搬送方式の特徴を生かし、fast露光モードは高タクトで処理が可能。 上下マスクの位置合わせ、マスク―ウエハの位置合わせはI.Fを同一とし 操作が煩雑になる事がありません。 また、マスクの交換も簡単に行えます。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■両面同時露光 ■fast露光モード、アライメント露光モード ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■ベルト搬送方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
- 価格：応相談
量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております
当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。 【特長】 ■高い汎用性（〇型□型試料対応） ■信頼性の高い球面軸受 平行機構 ■シンプル構造で低価格を実現 ■Φ4in、Φ6in、Φ8in仕様 ■CToC自動搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三明
- 価格：応相談
半自動露光装置『半自動マスクアライナー』
4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！
株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5％以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の 流れで行うことができます。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【仕様】 ■φ4in φ6in φ8in 仕様 ■Top-side アライメント ■Bottom-side アライメント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三明
- 価格：応相談
自動搬送露光装置
搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
スクリーン版用露光装置
フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。
フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
