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SiCウェーハに形成されたエッチピットを3次元X線顕微鏡(X線CT)で観察した事例を紹介！
パワー半導体の普及に向け、低欠陥のSiCウェーハの開発が 進められています。 X線CTは非破壊で物質の形状を3次元的に可視化し、定量評価できる手法です。 PDF資料にて、SiCウェーハに形成されたエッチピットを3次元X線顕微鏡 (X線CT)で観察した際のCT像をご覧いただけます。 【概要】 ■X線CTによるエッチピットの形状解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
外観検査ではわからない内部の状態を非破壊で可視化できます！
電気製品で断線による故障が発生する場合があります。 配線の周囲が不透明な樹脂などで覆われていると、どこで断線が 発生しているか、外観検査だけで探すことは困難です。 そのような場合、X線透過観察により、断線箇所を見つけることが可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■X線透過観察による断線箇所特定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構成元素の種類と量、膜質などを評価！複合的な分析をご提案いたします
当社で行う「薄膜分析・評価」についてご紹介いたします。 薄膜は電子デバイスの機能性を向上させるための重要な因子の一つです。 薄膜の複合的な分析をご提案いたします。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【詳細】 ■組成評価 ■不純物・汚染評価 ■結合状態 ■密度評価 ■発生ガス ■形状観察 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
温度条件による相変化・化学反応・格子定数の変化を知るために有効な手段！
当社で行う「高温XRDによる極薄膜の結晶性評価」についてご紹介いたします。 高温でのX線回折(XRD)は、各種材料の温度条件による相変化・化学反応・ 格子定数の変化を知るために有効な手段です。 添付のPDF資料にて、nmオーダの極薄膜の結晶構造の変化をIn-PlaneXRD＋ 高温測定で評価した事例をご紹介しておりますので、ぜひご覧ください。 【高温＋In-Plane XRD 特長】 ■極低角でX線を入射して面内方向に検出器を走査させる方法 ■入射X線は表面から深くまで入らず、かつ表面に対して 垂直な回折面のみを検出することができる ■数nmの極薄膜についても結晶の情報を得ることができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
二次電池の充放電過程における正極/負極材料の粒径・ひずみ量評価などの用途に！
当社で行う「リートベルト解析によるX線回折データの定量分析」 についてご紹介いたします。 X線回折データにリートベルト解析を適用することにより、標準試料を 必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、結晶子サイズ、 均一ひずみの定量が可能です。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■標準試料を必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、 結晶子サイズ、均一ひずみの定量が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
質量分析計には、磁場型・四重極型・飛行時間型などの種類があり、分析の目的に応じて使い分けます！
二次イオン質量分析(SIMS)は、ppbレベルの極微量不純物元素を 同定・定量できる非常に高感度な分析手法です。 スパッタリングしながら測定するため、膜中の不純物の深さ方向分布を 得ることができます。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■磁場型SIMS：高感度が要求される不純物の評価に用いる ■四重極型SIMS：深さ方向分解能が要求される評価や、絶縁膜を含む 多層膜の評価に用いる ■飛行時間型SIMS：極表面にある極微量物質の分子構造レベルの評価、 表面の有機物などの汚染状態や微小異物の評価に用いる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Si基板上のSiO2表面酸化膜について、光電子分光から酸化膜厚を算出！
酸化膜の形成プロセスにおいて、酸化膜厚の制御は非常に重要な項目の1つです。 そこで、光電子分光を用いて表面酸化膜の膜厚を非破壊で見積りました。 表面が薄い酸化膜で覆われているような試料の場合、多くの元素の光電子ピークは 酸化物成分と基板成分に対応して2つのピーク構造を示します。各成分のスペクトル 強度を測定することによって酸化膜の膜厚を見積ることができます。 非破壊にて膜厚を求める分析手法はいくつかありますが、他の手法に比べ、 特定箇所の膜厚の見積りが可能であるところが、この手法の特長です。 ※記事の詳細内容は、添付のPDF資料より閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
感度・定量に特化したSIMS(D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立！
ウェーハベベル部の成分評価は一般的にTEMやTOF-SIMSで行われていますが、 これらの手法はいずれも感度や定量に制限があり、微量の成分評価は困難と されてきました。 今回、新たに開発した専用治具を用いることで、感度・定量に特化したSIMS (D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立しました。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【技術概要】 ■傾けた不安定な状態の試料の位置ずれ、検出安定性の低下を 防止するために専用治具で固定 ■測定位置を高精度かつ自由度高く選択することができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
膜構造・組成情報があらかじめ分かれば、多層膜もシミュレーションにより評価可能！
当社で行う「X線反射率測定(XRR)による薄膜評価」についてご紹介いたします。 X線反射率測定(XRR)は、臨海全反射各近傍でのX線の減衰や干渉縞のある X線プロファイルと計算で得られたプロファイルをフィッティングさせることで、 表面(界面)粗さ・膜密度・膜厚の情報を得ることができます。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【解析可能な薄膜】 ■試料表面：鏡面(表面粗さ 5nm以下) ■試料サイズ：30mm×30mm以上 ※サイズが小さい場合はご相談 ■膜厚：2nm～500nm ■必要な情報：膜構造および膜組成情報 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
表面の化学組成、結合状態および不純物分布などを詳しく調査！
当社で行う「半導体の表面・薄膜解析」についてご紹介いたします。 半導体デバイスのプロセス開発・工程管理・不良解析において、材料評価・ 故障モードの特定に有効な分析をご提案。 表面の化学組成、結合状態および不純物分布などを詳しく調べ、研究開発 および製造プロセス・不良解析に役立つ情報をご提供します。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【最表面】 ■組成：XPS ■結合状態：XPS ■汚染：TOF-SIMS・ICP-MS ■ラフネス：AFM・SEM ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属との接合状態や樹脂材料成分の分散状態を明確に観察可能！
当社で行う「金属表面のコーティング膜解析」についてご紹介します。 金属表面に腐食防止などを目的に形成されたコーティング膜(樹脂や セラミックス)を評価する際には、イオンミリングによる断面加工を施す ことで、金属との接合状態や樹脂材料成分の分散状態を明確に観察可能。 イオンミリングは、SEMなどの断面観察用の試料作製に用います。Arイオンを 試料の加工該当部に照射し、そのスパッタ効果を用いて加工します。 【イオンミリング加工のメリット】 ■介在物を脱粒させずに、そのままの状態で確認できる ■空隙が確認された場合は、脱粒によるものではないことが特定できる ■元素分布確認(EDS分析)にて、白色樹脂内の粒子、金属との界面、 金属表面のメッキ層の積層が明確に確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
検出深さが大きくなり、より深い領域の評価が可能になります！
当社で行う「放射光HAXPESによる埋もれた界面の評価」について ご紹介します。 X線光電子分光(XPS)は、表面の組成・状態分析が可能であり、 表面分析では不可欠な手法。 ラボ型XPS(Al Kα：1.5keV)では、3nm程度の極表面の評価に限られますが、 外部施設を利用した硬X線光電子分光(HAXPES)：8keVにより、多層構造や 実デバイスに近いスタック構造の埋もれた界面など、より深い領域の評価が 可能となります。 【特長】 ■通常のXPSに比べて検出深さが大きい ■深いエネルギー準位からの光電子を測定 ■同時に発生するオージェ電子などの重なりがなくなるため、状態分析が容易 ■第三世代の放射光施設(SPring-8)を高輝度X線源として利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
部品内部へ溜まった水分が熱ストレスにより気化！体積膨張する事により応力が発生
「表面実装部品のはんだ耐熱性試験」では、表面実装部品の防湿梱包から リフローまでをシミュレートし、熱ストレス耐性を評価します。 試験で発生した不良事例では、部品内部へ溜まった水分が熱ストレスにより 気化し、体積膨張する事により応力が発生。発生した応力により界面で剥離、 クラックなどの異常が発生します。 これらの異常は外観から確認する事が困難なため、超音波顕微鏡を用いて 内部の密着状態を検査します。 【試験フロー】 ■初期状態を確認 ■恒温槽で水分を排湿 ■恒温恒湿槽で水分を吸湿 ■リフロー装置で熱ストレスをかける ■試験後状態確認 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
必要に応じて樹脂通液後のフィルターを分析！お客様にとって好適な運用をサポート
当社では、拡大観察、元素分析を含む様々な分析サービスを行っております。 フィルターの使用において異常が確認された場合等は「解体調査」、 洗浄時にフィルターに特殊な異物が確認された場合等は異物の 「元素分析サービス」をご要望に応じて承っております。 また、当社が保有する研究施設にある粘度測定器を用いて、 一定の温度下での粘度を測定することも可能です。 【サービス内容】 ■解体調査 ■元素分析 ■粘度測定 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
