Siウエハ/の製品一覧
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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！
- コーター
- レジスト装置
- その他半導体製造装置
ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です
- ステッパー
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精度に測定するIn-situモニター。
- CVD装置
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。
- コーター
CMP研究・開発用途に大変有用！【パターンウェハ】3D ILD Pattern
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像は、HDP、SiN on Si の例になります。 200mm、300mmにて対応可能です。 対応膜種はご希望によりご相談ください。 高段差のパターンもご用意があります。 CMP研究・開発用途に大変有用です。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 基本情報 【サービスについて】 当社では、製品の迅速な供給、安定供給、より安価での供給を目標に、 各種ご要望に応じたウェハの提供、販売をしております。 ■各種評価用パターンウェハ、成膜ウェハの販売 ■使用済みシリコンウェハの回収とリサイクル ■各種分析、解析の受託 アメリカ・ヨーロッパ・韓国・台湾などに優秀な調達先を有し、 お客様により良い品質のウェハを安定してご提供できるよう体勢を整えております。
200mm 300mm にて対応可能！ 対応膜種はご希望によりご相談ください。
- その他半導体
- ウエハー
200mm 300mm にて対応可能！【CMP用テストウエハ】MIT STI CMP wafer
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 ※MITマスク使用 対応膜種はご希望によりご相談ください。
化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。 製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、 無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適 なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。 分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、 目的に合った手法を選ぶ必要があります。
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
- その他半導体製造装置
- その他洗浄機
- 超音波洗浄機
ヘテロ元素を含む試薬で特定の官能基を化学修飾し、導入したヘテロ元素から表面官能基の割合を評価した事例を紹介します。
- 受託測定
高熱伝導率で高電気絶縁性の『窒化アルミ』は高熱伝導基板用材料としても注目され、次世代パワー半導体等の材料としても期待されています
- ファインセラミックス
- LEDモジュール
- セラミックヒータ
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置
- コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（ノウハウ）が多数あります！
- コーター
分析のご依頼もお任せください！『分析機器一覧表』無料ダウンロード！
薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、 光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 東邦化研では「イオンプレーティング部」「材料解析部」「環境分析センター」といった三事業を柱としていることから、幅広い分析機器を保有しております。 薄膜コーティングの依頼と併せて、分析・評価まで対応可能です。 薄膜コーティング以外の”検査・分析のみ”のご案件も承っておりますので、まずはお気軽にお声掛け下さい！
研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同等のレジスト塗布機構を搭載！
- コーター
広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く除震台・防振装置が不要です！
- その他計測・記録・測定器
- その他検査機器・装置
広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能
- その他計測・記録・測定器
- 半導体検査/試験装置