アルバック／ULVAC, Inc.の製品・サービス一覧

『SWU10-U』は、USB ケーブルによりスマートフォンとダイレクトに 接続が可能なスマートフォン対応ピラニ真空計です。 お客様がお持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能。専用の電源や ディスプレイは必要ありません。 軽量・コンパクト。ULVAC独自の構造（特許番号 6595945）及び 本体保護ラバーの採用により、耐衝撃性に優れています。 【特長】 ■スマートフォンとのダイレクト接続 ■AC電源不要 ■軽量・コンパクト ■優れた耐衝撃性 ■広帯域測定 ■豊富なフィッティングラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 電源装置

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排気速度が安定している ○特殊用途向けにもオプション対応 →標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様･B仕様･H仕様)を用意 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ○ドライポンプの省エネに貢献 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 ○発熱も抑え、空調機器の電力も削減 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ

株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電源
• 真空機器
• 真空成形機

真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 搬送・ハンドリングロボット

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　270° ○るつぼ数　6 ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）　260mm×340mm×144mm ○重量　28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　180° ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず　185mm×239mm×179mm ○重量　11kg ○最大出力　10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1330N/1350N ○MBX-1305N/1310N ○MBX-1330N/1350N 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 電源

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 電源

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。 【仕様】 ○入力電圧　AC208V ○変動範囲　AC187 ～ 229V ○相数、周波数　3相　50/60Hz ○入力接続部　コネクタ接続 ○入力容量　13.5kVA以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 電源

UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子　C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子　T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子　TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓　TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空機器

UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。 【仕様】 ○使用圧力領域　大気圧～ 10^-11Pa ○許容リーク量　1.0×10^-11Pa・m3/s ○使用温度範囲　－196 ～ 450°C ○常用ベークアウト　温度300°C以下 ○材質　オーステナイト系ステンレス鋼 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空機器

アルバックの真空バルブは、長年の経験と専門メーカーとしての真空技術が生かされています。 Ｌ型からゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、すべての領域・条件・用途に対応可能なアルバックの真空バルブをご利用ください。 【特徴】 ○高い信頼性 ○豊富なラインアップ ○2つの駆動方式 ○逆圧仕様 ○ベーキング対応、その他カスタマイズ対応も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• バルブ

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（50/60Hz） ○消費電力　100W（5ch使用時） ○使用環境　温度：10 ～ 40°C　湿度：15 ～ 80％ RH（結露無きこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• その他プロセス制御

CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナップ】 ○蒸着センサ CRTS-4 ○マルチセンサ CRTS-M6 ○マルチセンサ CRTS-12NS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• 膜厚計

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量　約8kg ○ユーティリティー　AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力　60W Max ○使用環境　温度：5 ～ 40℃　湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• 膜厚計

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　約3.6kg ○ユーティリティー　AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力　30W Max ○使用環境　温度：5 ～ 40℃　湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• 膜厚計

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現 ○可視分光対応 →波長範囲は標準タイプ（530nm〜750nm）および 　可視分光タイプ(380nm〜760nm）から選択できる ○コンパクトなセンサユニット →投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており 　非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要ない ○豊富なラインアップ →ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動／自動ステージタイプや 　大型基板タイプ、大気／真空環境に対応した装置ビルトインタイプ 　など、多様な用途に対応したラインアップを用意している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。 保守パネルは簡単に外す事ができ、各部へのアクセスも容易、作業手順解説画面も搭載しております。 【仕様】 ○入力電圧[V]　100-120 or 200-240 ○テストポート形状　NW25(ISO) ○起動時間[min]　<2 ○外部インターフェース　RS232C, RS485, アナログDC出力, デジタル入出力 ○表示言語　日本語, 英語, 韓国語, 中国語(簡体字), 中国語(繁体字), 　　　　　　ドイツ語, スペイン語 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• リーク試験装置

差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】 ○ガス分析計本体　Qulee BGM-101/102/201/202、HGM-302から選択 ○最大サンプリング圧力 　大気圧/3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Paから選択 ○ガス導入系（500 ～ 1Pa仕様） 　手動ベローズバルブ（2系統）・取合フランジ UFC070 ○ソフトウェア　Qulee QCS Ver. 3.1以降（Windows 7/8対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。 【仕様】 [ジャケットヒータ] ○使用電力　AC100V, 100W（CGM-JH01 ／ CGM-JH02）, 　　　　　　AC100V, 100W（BGM-JH01） ○サイズ（装着時概寸）　φ90×120（CGM-JH01 ／ GM-JH02）、 　　　　　　　　　　　　φ90×250（BGM-JH01） ○質量　280g（CGM-JH01）, 270g（CGM-JH02）, 470g（BGM-JH01） ○接続ケーブル　耐熱被覆2芯ケーブル、長さ1m ○コンセント　形状平型2芯コンセントプラグ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5x10^-10Pa の測定分解能を実現しました。 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に最適です。 【仕様】 ○使用温度範囲　10 ～ 40°C ○使用湿度範囲　15 ～ 80％（ただし結露なきこと） ○電源電圧　AC85 ～ 240V ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　5.3kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

GP-Gシリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。 フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。 また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。 【ラインナップ】 ○GP-1000G ○GP-2001G ○GP-2002G ○GP-1GRY（A） ○GP-1G　ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示　パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧　DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ　D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量　190g（測定子含まず） ○付属品　入出力コネクタ 1式　取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○測定圧力範囲　-100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定精度　±3％ F.S. ○温度特性　ZERO ±0.2％ F.S./℃ 　　　　　　SPAN ±0.1％ F.S./℃ ○繰り返し性　±2％ F.S. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器
• センサ

チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。 【特徴】 ○システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までのベークアウトが可能 ○構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ULVAC のPBL 型油拡散エゼクタポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。 数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。 PBL-06〜PBL-20型の大型ポンプはパイプヒータを直接作動油中に入れているので、特に熱効率がすぐれています。 【ラインナップ】 ○PBL-02 ○PBL-04 ○PBL-06 ○PBL-10 ○PBL-14 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 　デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 　機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 　向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 　(FWシリーズ) ○破壊エネルギー吸収構造採用により、 　不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 　(YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 　10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 　面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。 【ラインナップ】 ○PMB100D ○PMB300D ○PMB600D ○PMB1200D ○PMB2400D 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

油回転真空ポンプの始動時、あるいは低真空で作業する時、排気されるガスとともにポンプの油が油煙や油滴となって排出されます。 TM/TMXシリーズを使用することにより、室内の設備・雰囲気をこのような油滴や油煙で汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 【ラインナップ】 ○TMX-1 ○TM201 ○TM401 ○TM-2（標準、F） ○TM-3（標準、F）　ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラインナップ】 ○PKS-016 ○PKS-030 ○PKS-070 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

PVD シリーズは、信頼性・使いやすさから、長年主力ポンプとして、多くのお客様にご利用いただいている小型油回転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T　ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1　標準仕様 ○SH2-2　シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 圧力計

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧　AC100V 15A ○圧縮空気　Dry N2 : 0.4 ～ 0.7MPa（φ6ワンタッチ継手） ○One Click機能　あり／ He/H2O/N2/O2/Any gas ○PCインターフェース　RS-232C/485 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他計測・記録・測定器